| 1926 | Eisengekapselte magnetische Linse: D. Gabor |
| 1926 | 1926-27 Elektronenoptik: Stromdurchflossene magnetische Linse: H. Busch |
| 1927 | DRP 485155 angem.: Rastermikroskop: H. Stintzing (vgl. 1938) |
| 1929 | DRP 690809 angem.: Elektrostatische Linsen: M. Knoll |
| 1931 | Pat. angem.: DBP 895635, Elektronenmikroskop, magnetisch und elektrostatisch: R. Rüdenberg |
| 1931 | 4.6.1931 M. Knoll berichtet in Berlin über die Arbeiten E. Ruska |
| 1931 | Magnetisches Durchstrahlungsmikroskop: A. F. Matthias |
| 1931 | Emissions-Elektronenmikroskop mit elektrostatischen Linsen: E. Brüche und H. Johannson bei AEG |
| 1932 | Idee: Ionen statt Elektronen: Knoll und Ruska |
| 1933 | Rückstrahlungs-Elektronenmikroskop: Knoll und Ruska |
| 1933 | Elektronen-Mikroskop 12000:1: Ruska und B. von Borries |
| 1934 | Erste Aufnahme eines biologischen Objekts mittels Elektronenmikroskop: Marton in Brüssel |
| 1937 | Sphärisches (Feld-) Elektronenmikroskop: E. W. Müller (vgl. 1950) |
| 1938 | Röntgenschatten-Mikroskop vorgeschlagen: M. von Ardenne |
| 1938 | Viren mit Elektronenmikroskop fotografiert |
| 1938 | Rastermikroskop ohne chromatische Abbildungsfehler ausgeführt: M. von Ardenne (vgl. 1927) |
| 1938 | Über-Elektronenmikroskop mit mit Magnetlinsen labormäßig fertig, 1939 fabrikatorisch: Ruska und von Borries bei Siemens |
| 1938 | 1938-39 Über-Elektronenmikroskop elektr. Linsen: H. Mahl und H. Boersch bei AEG |
| 1939 | Elektronenmikroskop 100000:1: V. K. Zworykin |
| 1940 | Rückstrahlungs-Mikroskop verbessert: von Borries (vgl. 1946) |
| 1942 | Verbessertes Rastermikroskop: V. K. Zworykin, J. Hillier und R. L. Snyder |
| 1942 | Ionen-Durchstrahlungsmikroskop: H. Boersch |
| 1942 | Filme mittels Elektronenmikroskop: M. von Ardenne |
| 1944 | Elektronenmikroskop 300000:1: M. von Ardenne |
| 1946 | Verbessertes Rückstrahlungsmikroskop: G. Dupouy (vgl. 1940) |
| 1948 | Röntgenstrahl-Mikroskop: P. Kirkpatrick und A. V. Baez |
| 1950 | Sichtbarmachung von Molekülen im Feldelektronenmikroskop: E. W. Müller (vgl. 1937) |
| 1951 | Atome sichtbar im linsenlosen Feldionenmikroskop: E. W. Müller |
| 1952 | Röntgenschatten-Mikroskop: Cosslett und Nixon in England |
| 1952 | Übermikroskop für 100 kV: Ruska bei Siemens |
| 1953 | Glühemissions-Mikroskop: M. Gauzit und A. Septier |
| 1955 | Protonen-Mikroskop: C. Magnan |
| 1955 | Rückstrahlungsmikroskop 60000:1: Ch. Fert und P. Selme |
| 1975 | Ultraschallmikroskop: C. F. Quate und R. Lemons |
| 1975 | Erstes Lasermikroskop (z. T. bis 500 millionenfach: L. F. Bartell mit Ch. F. Ritz |
| 1982 | Raster-Tunnelmikroskop (RTM): G. Binnig, Ch. Gerber, H. Rohrer und E. Weibel bei IBM in Rüschlikon |